化学制剂・溶剂用脱气模组 PF-F系
脱气膜采用PTFE,接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。
主要用途
- 可用于在半导体、LCD制造过程中使用液体的脱气、除泡(各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等)
- 溶剂型喷墨墨水的脱气
PFF的脱气原理是使用四氟化乙烯树脂(PTFE)制的管状透气膜除去溶解在液体中的气体。具体如下图所示,将管外侧设为真空,通过管内外气体的压差从管内流动液体中去除溶解气体。
脱气率
压力损失
请注意上述数据是使用水进行测量的参考数据。实际使用时,根据液体的种类不同,数据会有很大变动。
一般类型
型号 | 流量 | 尺寸 | 耐圧 | 最高使用温度 | 连接 | 连接 |
---|---|---|---|---|---|---|
mL/min | mm | MPa | ℃ | (液体入口/液体出口) | 真空口 | |
PF-3T-S-F | 1-20 | 29×58×86 | 0.2 | 40 | 4×2 tube | 4×2 tube |
PF-03F | 1 - 100 | 102φ×180 | 0.294 | 40 | 1/4 Super pillar | Rc 1/8 |
PF-05F | 1 - 100 | 102φ×180 | 0.294 | 40 | 1/4 Super pillar | Rc 1/8 |
PF-10F | 1 - 200 | 102φ×260 | 0.294 | 40 | 1/4 Super pillar | Rc 1/8 |
PF-13F | 1 - 300 | 102φ×260 | 0.294 | 40 | 1/4 Super pillar | Rc 1/8 |
PF-28F | 1 - 500 | 102φ×440 | 0.294 | 40 | 3/8 Super pillar | Rc 1/8 |
低压亏损类型
型号 | 流量 | 尺寸 | 耐圧 | 使用温度 | 连接 | 连接 |
---|---|---|---|---|---|---|
mL/min | mm | MPa | ℃ | (液体入口/液体出口) | 真空口 | |
PF-13F(T) | 1 - 500 | 102φ×260 | 0.294 | 40 | 1/4 Super pillar | Rc 1/8 |
PF-26F(T) | 1 - 500 | 140φ×450 | 0.294 | 40 | 10mm Super pilar | Rc 1/4 |
- ※接口:根据产品要求不同,也可改变接头类型(pillar,法兰等).
- ※流量:上述流量为选择时的大致标准。根据液体种类和脱气目标水平,也可在该流量范围外使用。
- ※尺寸:尺寸中不含凸起部和接头的。详情请参考产品图纸进行确认。