化学制剂・溶剂用脱气模组 PF-F系

产品概要

脱气膜采用PTFE,接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。

主要用途

  • 可用于在半导体、LCD制造过程中使用液体的脱气、除泡(各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等)
  • 溶剂型喷墨墨水的脱气

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SEPAREL PFF Series的脱气原理

SEPAREL PFF Series的脱气原理

PFF的脱气原理是使用四氟化乙烯树脂(PTFE)制的管状透气膜除去溶解在液体中的气体。具体如下图所示,将管外侧设为真空,通过管内外气体的压差从管内流动液体中去除溶解气体。

性能数据∶脱气率和压力损失

脱气率

脱气率

压力损失

压力损失

请注意上述数据是使用水进行测量的参考数据。实际使用时,根据液体的种类不同,数据会有很大变动。

型号一览表

一般类型

PF-F series

脱气膜采用PTFE,接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。

  • イメージ画像
  • 内部灌流方式
型号 流量 尺寸 耐圧 最高使用温度 连接 连接
mL/min mm MPa (液体入口/液体出口) 真空口
PF-3T-S-F 1-20 29×58×86 0.2 40 4×2 tube 4×2 tube
PF-03F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-05F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-10F 1 - 200 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-13F 1 - 300 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-28F 1 - 500 102φ×440 0.294 40 3/8 Super pillar Rc 1/8

低压亏损类型

型号 流量 尺寸 耐圧 使用温度 连接 连接
mL/min mm MPa (液体入口/液体出口) 真空口
PF-13F(T) 1 - 500 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-26F(T) 1 - 500 140φ×450 0.294 40 10mm Super pilar Rc 1/4
  • 接口:根据产品要求不同,也可改变接头类型(pillar,法兰等).
  • 流量:上述流量为选择时的大致标准。根据液体种类和脱气目标水平,也可在该流量范围外使用。
  • 尺寸:尺寸中不含凸起部和接头的。详情请参考产品图纸进行确认。

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