薬液・溶剤用脱気モジュール
脱気膜にPTFEを採用した、接液部がすべてフッ素樹脂製の脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。
主な用途
- 半導体・LCD製造プロセスで用いる液体の脱気、脱泡（各種レジスト、シンナー、薬液など）
- 溶剤系ジェットインクの脱気
PFFの脱気メカニズムは、四フッ化エチレン樹脂（PTFE）製のチューブ状の気体透過膜を介して、液体に溶解している気体を除去することです。具体的には上図に示すようにチューブの外側を真空にすることにより、チューブ内外の気体の分圧差によってチューブ内を流れる液体から溶解している気体を除去します。
脱気率
圧力損失
上記データは水にて測定した参考データです。実際にご使用になる液体の種類によってはこれらのデータと大きく異なる場合がありますのでご注意ください。
PF-F series
脱気膜にPTFEを採用した、接液部がすべてフッ素樹脂製の脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。
通常タイプ
| 型式 | 流量 | 外形寸法 | 耐圧 | 最高使用温度 | 接続 | 接続 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| mL/min | mm | MPa | ℃ | 液体側 | 真空側 | |
| PF-3T-S-F | 1 - 20 | 29×58×86 | 0.2 | 40 | 4×2チューブ出し | 4×2チューブ出し |
| PF-03F | 1 - 100 | 102φ×180 | 0.294 | 40 | 1/4 スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-05F | 1 - 100 | 102φ×180 | 0.294 | 40 | 1/4 スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-10F | 1 - 200 | 102φ×260 | 0.294 | 40 | 1/4 スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-13F | 1 - 300 | 102φ×260 | 0.294 | 40 | 1/4 スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-28F | 1 - 500 | 102φ×440 | 0.294 | 40 | 3/8 スーパーピラー | Rc 1/8 |
低圧損タイプ
| 型式 | 流量 | 外形寸法 | 耐圧 | 最高使用温度 | 接続 | 接続 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| mL/min | mm | MPa | ℃ | 液体側 | 真空側 | |
| PF-13F(T) | 1 - 500 | 102φ×260 | 0.294 | 40 | 1/4 スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-26F(T) | 1 - 500 | 140φ×450 | 0.294 | 40 | 10mm スーパーピラー |
Rc 1/4 |
- ※接続：製品によっては継ぎ手の変更対応可能（ピラー、フランジなど）
- ※流量：対応流量は選定時の目安です。液体の種類、目標脱気レベルによってはこの流量範囲外でご使用可能。
- ※寸法：突起部、継ぎ手を除いた寸法です。詳しくは製品図面にてご確認下さい。
