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DIC株式会社

薬液・溶剤用脱気モジュール

製品概要

脱気膜にPTFEを採用した、接液部がすべてフッ素樹脂製の脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。

主な用途

  • 半導体・LCD製造プロセスで用いる液体の脱気、脱泡(各種レジスト、シンナー、薬液など)
  • 溶剤系ジェットインクの脱気

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SEPAREL PFF Series の脱気メカニズム

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PFFの脱気メカニズムは、四フッ化エチレン樹脂(PTFE)製のチューブ状の気体透過膜を介して、液体に溶解している気体を除去することです。具体的には上図に示すようにチューブの外側を真空にすることにより、チューブ内外の気体の分圧差によってチューブ内を流れる液体から溶解している気体を除去します。

性能データ:脱気率と圧力損失

脱気率

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圧力損失

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上記データは水にて測定した参考データです。実際にご使用になる液体の種類によってはこれらのデータと大きく異なる場合がありますのでご注意ください。

型式一覧

PF-F series

脱気膜にPTFEを採用した、接液部がすべてフッ素樹脂製の脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。

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通常タイプ

型式 流量 外形寸法 耐圧 最高使用温度 接続 接続
ml/min mm MPa 液体側 真空側
PF-03F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8
PF-05F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8
PF-10F 1 - 200 102φ×260 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8
PF-13F 1 - 300 102φ×260 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8
PF-28F 1 - 500 102φ×440 0.294 40 3/8 スーパーピラー Rc 1/8

低圧損タイプ

型式 流量 外形寸法 耐圧 最高使用温度 接続 接続
ml/min mm MPa 液体側 真空側
PF-13F(T) 1 - 500 102φ×260 0.294 40 1/4 スーパーピラー Rc 1/8
PF-26F(T) 1 - 500 140φ×450 0.294 40 10mm
スーパーピラー
Rc 1/4
  • 接続:製品によっては継ぎ手の変更対応可能(ピラー、フランジなど)
  • 流量:対応流量は選定時の目安です。液体の種類、目標脱気レベルによってはこの流量範囲外でご使用可能。
  • 寸法:突起部、継ぎ手を除いた寸法です。詳しくは製品図面にてご確認下さい。

製品についてのお問い合わせ - DIC株式会社メンブレン営業部

  • 03-6733-5944(受付時間:平日9:00 - 17:00)
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